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中國首台自製DUV測試曝光

全球縮影   2025/09/23

(1)現象:《金融時報》報導指出,中芯國際正測試由上海宇量昇科技開發的首台國產浸潤式深紫外光(DUV)光刻機。該設備被外媒評估相當於艾司摩爾2008年的舊款型號,主要用於28奈米製程,但透過多重曝光技術也可應用於7奈米與5奈米。分析師認為,若最早2027年投入量產,將標誌中國在半導體設備自主化的重要進展。

(2)原因:受限於美歐出口管制,中國無法取得最新的EUV光刻機,只能依賴囤積的ASML DUV機台或嘗試自研。宇量昇的產品雖技術落後,但具備本土供應鏈基礎,若能量產將減少中國對進口設備的依賴。這與中國政府長期推動半導體自主化的戰略方向一致,並受到中芯國際與華為等產業龍頭支持。

(3)影響:短期內,由於中國設備性能仍落後17年,加上可靠性與量產化挑戰,對全球晶圓代工格局影響有限。中芯國際在2026年的產能擴張仍將依靠囤積的ASML設備。然而中長期來看,一旦國產DUV設備投入量產,將加強中國在成熟製程(28奈米)領域的競爭力,進而影響台灣晶圓代工在低階製程的市佔。此外,若中國實現零組件完全國產化,台灣相關設備與零組件廠商的出口需求可能面臨壓力。

(4)受影響股票:台積電(2330)

聯電(2303)

家登(3680)

漢科(3402)

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