奈米大戰 ALD扮要角 [工商時報]
今日焦點 2025/10/03

(1)新聞內容摘要:晶圓代工邁向先進製程,傳統鍍膜技術遇到瓶頸。隨著台積電、英特爾、三星等大廠陸續導入立體電晶體架構,未來對ALD(原子層沉積)設備與前驅物需求將快速擴張,將帶動相關供應鏈營收成長。業界指出,台灣供應鏈天虹(6937)、京鼎(3413)、宇川等業者正積極搶進,期望在新世代製程中占有一席之地。
(2)新聞解讀:天虹攜手晶圓大廠共同開發ALD設備,可依客戶需求彈性調整腔體配置,展現高度客製化優勢;宇川則為台灣首家專業ALD/CVD(化學氣相沉積)有機金屬前驅物製造商,掌握材料端關鍵技術,產品已獲部分先進製程驗證。法人分析,相關設備與材料供應鏈正迎來新一波成長契機。
半導體業者強調,未來先進製程的勝負關鍵,不再僅是極紫外光(EUV)微影。今年下半年,台積電2奈米與英特爾18A先後進入量產,兩家公司分別採用Nanosheet(奈米片)與RibbonFET架構,均屬立體式設計,讓製程挑戰大幅升高。雖然2奈米的EUV光罩層數並未明顯增加,但如何在複雜3D結構中均勻鍍膜,才是最困難的一環。(黃冠豪)
(3)投資評等:天虹(6937)、京鼎(3413):短線○